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菲希爾代理X射線鍍層測厚儀XDAL237
菲希爾X射線測厚儀XDAL237核心定位
自上而下照射、電動 XY 自動化平臺機型
面向超薄多層鍍層無損檢測 + 元素成分分析;
標配硅 PIN 半導體探測器(對比 XDLM237 比例計數器,能量分辨率大幅提升,適合薄層、相鄰元素區(qū)分);
237 = 可編程電動 XY 工作臺版本(同系列 231 為手動臺)。
區(qū)分要點:
XULM 系列:自下而上照射、手動工作臺,緊湊型,側重經濟型微小樣品
XDAL 系列:自上而下測量,支持大板 C 型槽進出,可選電動平臺,自動化、超薄鍍層優(yōu)先
關鍵硬件參數
X 射線源
鎢靶微聚焦管 50kV / 50W;
4 檔自動切換準直器(最小光斑 φ0.15 mm);
3 檔自動初級濾片(Al / Ni / 無濾片)。
探測器配置(兩大可選)
標準:帕爾貼制冷硅 PIN 探測器,能量分辨率≤200eV,檢測元素 S (16)~U (92)
升級選配:SDD 硅漂移探測器,≤160eV,元素 Al (13)~U (92),可兼顧 RoHS 有害物質篩查