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菲希爾X射線測厚儀XDV-SDD
菲希爾X射線鍍層測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD核心硬件配置
1. 探測核心(整機優(yōu)勢)
50mm2 大面積 SDD 硅漂移探測器,半導體制冷,Mn-Kα 分辨率≤140eV,低能元素靈敏度拉滿,可直接測空氣中 Al、P,超薄鍍層檢出極限達 2nm 金層
自研DPP + 數(shù)字脈沖處理器:超高計數(shù)率,同等精度下測量時長縮短 50%,批量檢測效率大幅提升,重復性更穩(wěn)定
2. X 射線激發(fā)系統(tǒng)
鎢靶微聚焦 X 射線管,三檔高壓 10/30/50kV 自動切換
4 檔電動切換準直器:最小光斑 φ0.25mm,最大 3mm 大光斑(大面積樣品提速)
6 組自動切換濾光片,針對鎳磷、貴金屬、多層鍍層優(yōu)化激發(fā)條件
3. 自動測量平臺
可編程高精度 XY 電動工作臺,定位精度<5μm,支持矩陣批量自動掃描
電動 Z 軸升降,測量距離 0–80mm,DCM 距離補償,高低異形工件無需反復校準
樣品最大容納高度 140mm,兼容大尺寸、異形五金、PCB、晶圓
高清彩色 CCD 顯微鏡頭 + 1 級安全激光定位,十字標線可視化定點測量
4. 基礎參數(shù)
可測元素:Al (13) ~ U (92),最多同步分析 24 種元素
成分檢出下限:低至 ppm 級,塑料中 Pb 檢出≈2ppm,滿足 RoHS 嚴苛限值
整機重量:45kg,全封閉輻射防護倉,開蓋自動斷 X 光
配套軟件:WinFTM® 專業(yè)分析軟件,鍍層厚度、元素含量、圖譜、報表一體化輸出